发明名称 |
谐振器的支承装置 |
摘要 |
本发明提供一种谐振器的支承装置,其能够在任意的位置支承谐振器,使谐振器以规定的振动频率稳定振动,从而向对象物有效地施加超声波振动,为了提供这种谐振器的支承装置,在谐振器(7)的第一被支承部及第二被支承部分别插入至少利用支承部件形成的与上述被支承部分别接触的部分的第一夹紧机构(21)及第二夹紧机构(22),从而支承谐振器(7),且所述支承部件的材质使用对数衰减率大于0.01且小于1的材质、或者声速大于5900m/s的材质。 |
申请公布号 |
CN101978484A |
申请公布日期 |
2011.02.16 |
申请号 |
CN200980110178.9 |
申请日期 |
2009.04.06 |
申请人 |
阿德威尔斯股份有限公司 |
发明人 |
中居诚也 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/607(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
一种谐振器的支承装置,其特征在于,具备:通过振动件的超声波振动而发生谐振的谐振器;形成在所述谐振器的外周面的被支承部;与所述被支承部卡合而支承所述谐振器使所述谐振器的固有振动频率不偏离的支承机构,所述支承机构在与所述谐振器接触的部位具备由对数衰减率大于0.01且小于1的材质构成的支承部件。 |
地址 |
日本国福冈县 |