一种用于微纳材料的尺寸缩减方法及电极制作方法

摘要

本发明提供一种采用FIB低束流扫描刻蚀方法实现微纳材料尺寸缩减的方法及电极制作方法。该方法采用低束流FIB刻蚀，使刻蚀具有原子尺度分辨率的图形加工精度，还可以用来对三维复杂纳米结构从不同入射角度、不同部位进行选择性尺寸缩减。

主权项

一种用于微纳材料的尺寸缩减方法，其特征在于，采用FIB低束流扫描刻蚀方法实现尺寸缩减。