发明名称 |
METHOD FOR TREATING DIMPLE OF SHALLOW TRENCH ISOLATION |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20060076536(A) |
申请公布日期 |
2006.07.04 |
申请号 |
KR20040114989 |
申请日期 |
2004.12.29 |
申请人 |
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
PARK, KEUN SOO |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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