半导体生产线的废热利用装置

摘要

半导体生产线的废热利用装置。本实用新型尤其涉及一种半导体芯片制造厂净化车间热源回收利用的装置和该装置。它包括产生废热的设备和净化车间，其特征在于，它包括排风口、进风口、管路、阀门一~三、温度感应器和控制器，所述管路将所述产生废热的设备、净化车间、排风口和进风口相连，所述阀门一设在排风口处，所述阀门三设在进风口处，所述阀门二设在产生废热的设备和净化车间之间的管路上；所述温度感应器包括感应器一、感应器二和感应器三，感应器一设在所述产生废热的设备的废热出口处，感应器二设在所述净化车间处，感应器三设在进风口外部；阀门一~三和感应器一~三分别连接控制器。本实用新型利用管路、阀门将热源体有效进行回收利用，将生产车间能源的循环利用，提高资源利用率，降低生产制造成本，适应低碳环保的生产要求。

主权项

半导体生产线的废热利用装置，所述生产线包括产生废热的设备和净化车间，其特征在于，它包括排风口、进风口、管路、阀门一~三、温度感应器和控制器，所述管路将所述产生废热的设备、净化车间、排风口和进风口相连，所述阀门一设在排风口处，所述阀门三设在进风口处，所述阀门二设在产生废热的设备和净化车间之间的管路上；所述温度感应器包括感应器一、感应器二和感应器三，感应器一设在所述产生废热的设备的废热出口处，感应器二设在所述净化车间处，感应器三设在进风口外部；阀门一~三和感应器一~三分别连接控制器。