放电激励脉冲雷射振荡装置

摘要

本创作提供不增高雷射瓦斯供给装置之供给能力亦不会降低输出能量，不受振荡频率高低之影响，雷射光束之中心位置保持一定之高振荡频率放电激励脉冲雷射振荡装置。本创作之放电激励脉冲雷射振荡装置在雷射光轴方向平行配置一双主电极1、2。由雷射瓦斯流4供给雷射瓦斯至该一双主电离发生部10。该预先电离发生部10系以收纳补助电极7之中空介电管6所构成。该介质管6之表面在主电极2与补助电极7间施加电压时，发生电晕放电9。该电晕放电9放射紫外线将主电极1、2间之雷射瓦斯预先电离。主电极1、2间施加电压时，主电极1、2间发生主放电3而产生雷射振荡。

主权项

1.一种放电激励脉冲雷射振荡装置,包含在雷射光轴方向平行相对配置一双主电极,及由前述雷射光轴方向之垂直方向向前述主电极间供输给雷射瓦斯;其特征在,将用以将前述一双主电极间前述雷射瓦斯预电离之预先电离发生部,仅设于供给前述主电极之雷射瓦斯上流侧者。图1为本创作放电激励脉冲雷射振荡装置一实施例之断面图。图2为传统放电激励雷射振荡装置一例之断面图。图3为传统放电激励Excimer振荡装置一例之断面图。图4为图2所示传统放电激励装置振荡颜率与雷射光束中心位置之关