发明名称 感光性树脂组合物和使用其的感光性部件,抗蚀剂图案的形成方法,印刷配线板的制造方法和等离子显示面板用间隔壁的制造方法
摘要 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有:(A)粘合剂聚合物、(B)具有能够聚合的乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)含有2,4,5-三芳基咪唑二聚物或其衍生物的光自由基聚合引发剂和(D)以下述通式(1)表示的化合物。【化1】<img file="200680024515.9_ab_0.GIF" wi="283" he="153" />式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>分别独立地表示碳原子数1~20的烷基等,R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>、R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>、R<sup>8</sup>、R<sup>9</sup>和R<sup>10</sup>分别独立地表示氢原子等。
申请公布号 CN101218538B 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN200680024515.9 申请日期 2006.07.03
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 宫坂昌宏;熊木尚
分类号 G03F7/031(2006.01)I;G03F7/029(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;H01J11/02(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/031(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 钟晶
主权项 1.一种感光性树脂组合物,其特征为,含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有能够聚合的乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)含有2,4,5-三芳基咪唑二聚物或其衍生物的光自由基聚合引发剂和(D)由下述通式(1)表示的化合物,所述(D)由下述通式(1)表示的化合物的含量,相对于所述(A)粘合剂聚合物和所述(B)具有能够聚合的乙烯性不饱和键的光聚合性化合物的总量100质量份而言,为0.01~10质量份,[化1]<img file="FSB00000309894700011.GIF" wi="753" he="428" />式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>表示碳原子数1~20的烷基;R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>、R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>、R<sup>8</sup>、R<sup>9</sup>和R<sup>10</sup>分别独立表示氢原子或碳原子数1~12的烷基。
地址 日本东京都