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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08330282(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950156976 申请日期 1995.05.30
申请人 ANELVA CORP 发明人 TAMURA YOSHIHIRO
分类号 C23C16/50;C03C15/00;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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