多晶硅铸锭炉的气流控制装置

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的气流控制装置，属于多晶硅铸锭炉技术领域。它解决了现有多晶硅铸锭炉内含碳的气体都会在腔体内不断回流、气流所载杂质也会不断侵入硅熔体而导致铸锭质量降低的问题。本多晶硅铸锭炉的气流控制装置，所述的多晶硅铸锭炉包括炉体和设置在炉体内的隔热笼，在隔热笼内设有加热器和坩埚，所述的隔热笼顶部设有导气管，导气管与隔热笼上下滑动连接，在炉体上设有升降结构，上述的导气管固接在升降结构上。通过气流控制装置对多晶硅铸锭炉内的气流进行控制，使得多晶铸锭中的碳含量能够得到有效地降低，提高了铸锭质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的气流控制装置，所述的多晶硅铸锭炉包括炉体(1)和设置在炉体(1)内的隔热笼(2)，在隔热笼(2)内设有加热器(5)和坩埚(6)，所述的隔热笼(2)顶部设有导气管(3)，其特征在于，导气管(3)与隔热笼(2)上下滑动连接，在炉体(1)上设有升降结构，上述的导气管(3)固接在升降结构上。