一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环

摘要

一种用于透射电镜的加速极的制造方法及其陶瓷环，制造方法包括：①陶瓷环成型，采用等静压成型工艺，使陶瓷粉成型为内部中空的圆柱体状的陶瓷环；②金属化，采用厚膜工艺对成型后的所述陶瓷环进行金属化；③组装，将n个金属化后的所述陶瓷环与n+1个圆环状封接金属片同轴心且相间隔地固定组装在一起，组装后在其中一端的所述封接金属片上固定连接能与所述透射电镜其他部件装配的连接机构，形成所述加速极。所述陶瓷环具有内部中空的圆柱体外形，在所述陶瓷环的内壁沿其周向成型有向所述陶瓷环外壁凹进的凹槽。本发明的加速极制造方法及其陶瓷环，将陶瓷环成型工艺与金属化工艺相结合，能满足耐高压、抗拉强度等各种性能要求。

主权项

一种用于透射电镜的加速极的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：①陶瓷环成型，采用等静压成型工艺，使陶瓷粉成型为内部中空的圆柱体状的陶瓷环(1)；②金属化，采用厚膜工艺对成型后的所述陶瓷环(1)进行金属化；③组装，将n个金属化后的所述陶瓷环(1)与n+1个圆环状的封接金属片(2)同轴心且相间隔地固定组装在一起，组装后在其中一端的所述封接金属片(2)上固定连接能与所述透射电镜其他部件装配的连接机构，从而形成所述加速极。