发明名称 | 工件支撑结构及其使用设备 | ||
摘要 | 本发明包含一种用于储存具有底面及周边边缘的至少一个工件的工件容器。在一实施例中,工件支撑结构位于容器外罩内,其在该外罩内形成多个垂直堆栈的储存架。在一实施例中,每个储存架包括用于在大体上水平方位上支撑该工件的第一齿及第二齿。装于储存架上的工件的底面及周边边缘延伸超出该第一齿与该第二齿两者的外边缘。根据本发明的末端效应器可啮合该工件的这些延伸部分或“夹紧区域”。 | ||
申请公布号 | CN101253614B | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
申请号 | CN200680031413.X | 申请日期 | 2006.07.07 |
申请人 | 埃塞斯特科技有限公司 | 发明人 | A·C·博诺拉 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
主权项 | 一种用于储存具有底面及周边边缘的至少一个工件的工件容器,其包含:外罩,其由容器壳及容器门限定;位于该外罩内的工件支撑结构,该工件支撑结构在该外罩内形成多个垂直堆栈的储存架,每个垂直堆栈的储存架用于在大体上水平方向上支撑工件,所述每个垂直堆栈的储存架包含:基座部件;第一齿,其具有外边缘,该外边缘面朝该容器壳的最靠近所述第一齿的内表面并与该内表面间隔开;及第二齿,其具有外边缘,该外边缘面朝该容器壳的最靠近所述第二齿的内表面并与该内表面间隔开,所述第二齿与所述第一齿间隔开,所述第一齿和第二齿中的每一个均形成悬臂结构;其中,当工件装于所述多个垂直堆栈的储存架中的一个储存架上时,该工件的周边边缘的一部分延伸超出该第一齿及该第二齿的所述外边缘,并且所述周边边缘与所述容器壳的内表面间隔开。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |