发明名称 ELECTRONIC COMPONENT, ITS MANUFACTURE, AND CAPACITANCE TYPE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH11154756(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19970338146 申请日期 1997.11.20
申请人 TOKIN CORP 发明人 SATO MASAHIRO
分类号 G01L1/14;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/14
代理机构 代理人
主权项
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