Photoakustischer Sensor sowie Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung

摘要

Die Erfindung betrifft einen photoakustischen Sensor, enthaltend einen Resonanzkörper, welcher einen zur Aufnahme der nachzuweisenden Moleküle bestimmten Raum zumindest teilweise begrenzt und eine Einrichtung zur Erkennung einer Schwingung des Resonanzkörpers, wobei die Einrichtung zur Erkennung einer Schwingung eine Einrichtung zur optischen Erfassung des Ortes von zumindest einer Teilfläche des Resonanzkörpers enthält. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum photoakustischen Nachweis von Molekülen in der Gasphase sowie ein Verfahren zur Herstellung eines optisch integrierten photoakustischen Sensors.