发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MODULATING LIGHT
摘要 Improvements in an interferometric modulator that has a cavity defined by two walls.
申请公布号 US2011019380(A1) 申请公布日期 2011.01.27
申请号 US20100897662 申请日期 2010.10.04
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 MILES MARK W.
分类号 H05K7/02;H01L21/306 主分类号 H05K7/02
代理机构 代理人
主权项
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