| 主权项 |
1.一种防止晶片倾斜放置的装置,包括:一晶片;一液相形态之薄膜覆盖该晶片;一讯号发射元件,发出一掠过该液相形态之薄膜表面之讯号,该讯号以一预定高度高于该液相形态之薄膜表面;以及一讯号接收元件,用以接收该讯号,若接收不到该讯号,则该晶片被判定为倾斜放置。2.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该液相形态薄膜包括旋涂式玻璃溶液。3.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该液相形态薄膜包括一光阻。4.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该晶片保放在一加热装置上。5.如申请专利范围第4项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该加热装置包括一热垫板。6.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该讯号发射元件包括一雷射微测器。7.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该讯号接收元件包括一雷射接收器。8.如申请专利范围第1项所述之防止晶片倾斜放置的装置,其中该讯号系以平行该液相形态之薄膜表面之方式,掠过该液相形态之薄膜表面。图示简单说明:第一图系绘示晶片正常放置与倾斜放置之上视(TopVive)图;以及第二图系绘示第一图沿Ⅱ-Ⅱ方向之结构剖面图。 |
