具有旋转箔陷阱和驱动组件的碎片减缓装置

摘要

本发明涉及一种用于与辐射源(2)一起使用的碎片减缓装置，该辐射源生成光学辐射，特别是超紫外辐射(EUV)和/或软x射线，并且发射会沉积在所述辐射源(2)的辐射路径内的光学表面上的不期望的物质和/或颗粒；并且本发明涉及相应的驱动组件。该碎片减缓装置包含至少一个旋转箔陷阱(5)和该驱动组件。驱动组件包含驱动电机(14)和驱动轴(10)，旋转箔陷阱(5)固定到该驱动轴。驱动电机(14)和支撑驱动轴(10)的轴承(13)封在壳体(20)内，该壳体具有用于驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)。出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体。开孔设计成限定驱动轴(10)和壳体(20)之间的间隙(23)，其中所述间隙(23)连接到供应管(19)，以用于通过所述间隙(23)将密封气体供应到所述壳体(20)内。所提出的碎片减缓装置允许使用常规的驱动电机和施油或润滑的轴承，而没有污染在其中使用碎片减缓装置的真空腔的风险。这导致驱动组件增加使用寿命。

主权项

一种用于与辐射源(2)一起使用的碎片减缓装置，该辐射源生成光学辐射，特别是超紫外辐射(EUV)和/或软X射线，并且发射会沉积在所述辐射源(2)的辐射路径内的光学表面上的不期望的物质和/或颗粒，所述碎片减缓装置至少包含旋转箔陷阱(5)以及具有至少一驱动电机(14)和驱动轴(10)的驱动单元，所述旋转箔陷阱(5)固定到该驱动轴，所述驱动轴(10)由轴承(13)支撑，其中所述驱动电机(14)和所述轴承(13)封在壳体(20)内，该壳体具有用于所述驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)，所述出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体，所述开孔设计成限定所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的间隙(23)，所述间隙(23)连接到供应管(19)以用于通过所述间隙(23)将所述密封气体供应到所述壳体(20)内。