一种单片集成紫外图像传感器及其像素单元以及制备方法

摘要

本发明公开了一种紫外图像传感器及其像素单元以及制备方法。紫外图像传感器包括行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素阵列，每个像素单元包括信号放大器电路和光探测元件。图像传感器的行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素单元的信号放大器电路均采用硅CMOS技术制作，同步集成于同一衬底，且光探测元件位于信号放大器电路之上，光探测元件与信号放大器电路之间由介质层隔离，两者通过上述介质层的通孔实现电连接。本发明实现了单片集成，因此具有更高的性能和更低的成本，并显著提高了紫外图像传感器的分辨率和灵敏度。

主权项

一种紫外图像传感器，包括行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素阵列，其特征在于，所述像素阵列中的像素单元包括信号放大器电路和光探测元件，所述图像传感器的行扫描/驱动电路、列信号读出/驱动电路和像素单元的信号放大器电路均采用硅CMOS技术制作，同步集成于同一衬底，且光探测元件位于信号放大器电路之上，所述光探测元件与所述信号放大器电路之间设有介质隔离层，两者通过上述介质隔离层的通孔实现电连接。