阵列基板维修设备及方法

摘要

本发明实施例公开了一种阵列基板维修设备及方法，涉及液晶显示面板生产技术领域，能够提高设备产生的激光的能量检测的效率。本发明实施例提供的阵列基板维修设备，包括激光发生器，以及依次分布在激光光路上的光衰减器、光扩束器、光路狭缝和物镜；其中，在所述激光发生器与所述光衰减器之间、所述光衰减器和所述光扩束器之间以及所述光路狭缝和所述物镜之间均设有可旋转反射镜，激光经所述可旋转反射镜反射后到达置于所述阵列基板维修设备内部的激光能量测量探头。本发明提供的阵列基板维修设备及方法适用于对TFT-LCD阵列基板进行维修。

主权项

一种阵列基板维修设备，包括激光发生器，以及依次分布在激光光路上的光衰减器、光扩束器、光路狭缝和物镜；其特征在于，在所述激光发生器与所述光衰减器之间、所述光衰减器和所述光扩束器之间以及所述光路狭缝和所述物镜之间均设有可旋转反射镜，激光经所述可旋转反射镜反射后到达置于所述阵列基板维修设备内部的激光能量测量探头。