静电电容型加速度传感器

摘要

本发明的目的在于提供一种静电电容型加速度传感器，其能够抑制对可动部进行气密密封的密封结构体的破裂，并且能够回避加速度的测定精度的下降。该静电电容型加速度传感器的特征在于，具备：加速度传感器可动部和加速度传感器非可动部，形成对加速度进行检测的电容器；密封结构体，不与该加速度传感器可动部接触而对该加速度传感器可动部进行气密密封；以及支柱，被该加速度传感器可动部包围但不与该加速度传感器可动部直接接触，并且两端与该密封结构体的内壁相接，该加速度传感器可动部与该支柱电连接。

主权项

一种静电电容型加速度传感器，其特征在于，具备：加速度传感器可动部和加速度传感器非可动部，形成对加速度进行检测的电容器；密封结构体，不与所述加速度传感器可动部接触而对所述加速度传感器可动部进行气密密封；以及支柱，被所述加速度传感器可动部包围但不与所述加速度传感器可动部直接接触，并且两端与所述密封结构体的内壁相接，所述加速度传感器可动部与所述支柱电连接。