用于湿式处理碟形物件之装置及方法

摘要

所揭系为一种用来湿处理平板状基材的装置，包含一转盘可固持及旋转该基材，至少一分配器可将一液体配布于该基材的至少一表面上，一液体收集器围绕该转盘而可收集该基材旋转时甩出的液体，并具有至少二收集层能将液体分开地收集在不同的收集部，扬升装置可沿旋转轴来相对于该液体收集器移动该转盘，至少二排气层可分开地收集该液体收集器内部的气体，及至少一排气影响装置附设于至少一前述的排气层，而可选择性地改变该至少一所述排气层中的气流状态。