离子源

摘要

本发明的离子源(1)具有：等离子体容器(10)；和一对热电子释放元件(12、14)，该一对热电子释放元件在等离子体容器(10)的内部空间中释放热电子；和电源，其使电流各流入至热电子释放元件(12、14)。曝露于等离子体容器(10)内的等离子体的内壁面，和热电子释放元件(12、14)的曝露于等离子体且释放热电子的部分，是以相同金属为主成分的材料所构成。因此，在离子源(1)在运转中，在热电子释放元件(12、14)的表面附着的堆积层的成分和热电子释放元件(12、14)的材料是同一成分，据此，能够释放稳定的热电子，同时，使至交换热电子释放元件(12、14)的离子源(1)的运转时间变长。

主权项

一种离子源，是通过供给气体外加电弧电压而生成等离子体，自该等离子体生成离子束的离子源，其特征为：具有等离子体容器，该等离子体容器具备供给气体而生成等离子体，且具有导体面的内部空间，和一对热电子释放元件，与上述等离子体容器电性绝缘，自上述内部空间的内壁面突出，通过通电，将热电子释放至上述内部空间，和电源，使电流各流入至上述一对热电子释放元件，曝露于上述等离子体容器内的等离子体的内壁面的材料，和上述一对热电子释放元件的曝露于等离子体且释放热电子的部分的材料，是以相同金属为主成分的材料所构成。