发明名称 CONTROLLED TEMPERATURE IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR20110006647(A) 申请公布日期 2011.01.20
申请号 KR20107017992 申请日期 2009.03.26
申请人 S.O.I TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 SCARFOGLIERE BENJAMIN;BEN MOHAMED NADIA;CATTET GUERRINI GUILLAUME
分类号 H01L27/12;H01L21/20;H01L21/265 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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