一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件及其制作方法

摘要

一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，经过：清洗并且氧化极片、蒸镀下电极、涂聚酰亚胺、亚胺化、溅射上电极、一次光刻、二次光刻、三次光刻及切片、压焊、封装等工艺过程制备而成。本发明选用一种新型的聚酰亚胺为感湿材料，吸湿和脱湿响应速度快；上下电极的结构更有利于快速检测湿敏膜中水浓度的细微变化；另外膜厚度的可控范围对快速响应也有贡献，本发明响应速度指标达到500ms。

主权项

一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极(1)，下层金属层为下电极(3)，上、下金属层之间为感湿层(2)，其特征在于所述上电极(1)为栅状布置，所述感湿层(2)以聚酰亚胺为感湿膜。