丝极放电离子源

摘要

一种丝极放电离子源(1)，包括：电离室(3)，其设置有内壁，并且配置为容纳待电离的气体；丝极(13)，其放置在所述电离室(3)中；以及电源(19)，其用于向丝极供电，其中，丝极(13)放置为彼此基本上平行，并穿过内壁连接至所述电源(19)，至少一个第一丝极穿过第一内壁连接至所述电源，至少一个第二丝极穿过与第一内壁相对的第二内壁连接至所述电源。

主权项

一种丝极放电离子源(1)，包括：电离室(3)，所述电离室(3)设置有内壁，并且配置为容纳待电离的气体；丝极(13)，所述丝极(13)布置在所述电离室(3)中；以及电源(19)，所述电源(19)向所述丝极供电，所述丝极放电离子源(1)的特征在于：所述丝极(13)布置为彼此基本上平行，并穿过所述内壁而连接所述电源(19)，至少一个第一丝极穿过第一内壁而连接至所述电源，至少一个第二丝极穿过与所述第一内壁相对的第二内壁而连接至所述电源。