电致发光元件形成方法

摘要

一种电致发光元件(electroluminescence device；EL device)及其形成方法，电致发光元件包括一基板以及形成于该基板内的多个像素，每一像素包括一第一区域以及第二区域。第一区域包括至少一第一电容与第二电容，第一电容包括一第一导电层、位于该第一导电层上的第一介电层以及位于该第一介电层上的第二导电层，第二电容包括该第二导电层、位于该第二导电层上的第二介电层以及位于该第二介电层上的第三导电层。第二区域包括一形成于该基板上的第一半导体层、位于该第一半导体层上的第一栅极氧化层以及位于该第一栅极氧化层上的第四导电层。根据本发明，可大幅提升储存电容值而不会降低开口率。

主权项

一种形成电致发光元件的方法，包括：提供一基板；于该基板上定义一电容的第一区域与一晶体管的第二区域；形成一第一导电层于该第一区域上；形成一第一介电层于该第一区域上的该第一导电层上；形成一第二导电层于该第一区域上的该第一介电层上；形成一第二介电层于该第一区域上的该第二导电层上；形成一第三导电层于该第一区域上的该第二介电层上；形成一半导体层于该第二区域上；形成一栅极氧化层于该第二区域上，并且形成该栅极氧化层于该第一区域上的该第一导电层上，其中，形成该第一介电层包括于该栅极氧化层上形成一层间介电层；形成一第四导电层于该第二区域上的该栅极氧化层上；定义一有机发光二极管的第三区域于基板上；形成一第五导电层于该第三区域上；形成一有机层于该第三区域上的第五导电层上，其中，形成该第二介电层包括于该第二导电层上形成该有机层；以及形成该第三导电层于该第三区域上的该有机层上；其中，位于第一区域上的该第一导电层、该第一介电层与该第二导电层形成一第一电容，该第一区域上的该第二导电层、该第二介电层与该第三导电层形成一第二电容，该第二区域上的该半导体层、该栅极氧化层与该第四导电层形成一晶体管；其中，该第三区域上的该第五导电层、该有机层以及该第三导电层共同形成该有机发光二极管，形成该第一导电层与形成该半导体层包括使用相同的掺杂的多晶硅材质形成该第一导电层与该半导体层。