流体控制装置

摘要

本发明所涉及的流体控制装置，其特征在于，具备：通过使流道的开口面积变化来对流体的流量进行控制的流体控制阀；对流体的流量进行计测并将该流量的计测值变换为电信号并输出的流量计测器；和控制部，其基于来自该流量计测器的所述电信号与设定流量的偏差，将用于对所述流体控制阀的开口面积进行控制的指令信号，向所述流体控制阀或者操作该流体控制阀的设备输出。

主权项

一种流体控制装置，其特征在于，具备：通过使流道的开口面积变化来对流体的流量进行控制的流体控制阀；对流体的流量进行计测并将该流量的计测值变换为电信号并输出的超声波流量计测器，该超声波流量计测器具有直线流道和各从该直线流道垂直设置的第一流道和第二流道，一对超声波振子相互相对地配置在第一流道、第二流道的侧壁的与直线流道的轴线相交的位置上；控制部，其基于来自该流量计测器的所述电信号与设定流量的偏差，将用于对所述流体控制阀的开口面积进行控制的指令信号，向所述流体控制阀或者操作该流体控制阀的设备输出；用于将所述流体的流动开放或截断的开闭阀；和使流体的压力变动衰减的压力调整阀，所述流体控制阀、开闭阀、压力调整阀以及所述流量计测器，不使用独立的连接机构而直接连接，所述流体控制阀：将主体、缸和阀盖固定为一体，所述主体在上部具有阀室并具有分别与阀室连通的入口流道以及出口流道、在阀室底部中央设有连通有入口流道的开口部，所述缸在底部中央设有贯通孔，在侧面设有呼吸口，并和主体夹持固定第一隔板，所述阀盖在上部设有工作流体连通口，并和缸夹持固定第二隔板的边缘部；第一隔板将台肩部、位于台肩部之上并嵌合固定在后述的杆的下部的安装部、位于台肩部之下并固定有后述阀芯的接合部、从台肩部向径向方向延伸的薄膜部、与薄膜部连接的厚壁部以及设在厚壁部的边缘部上的密封部形成为一体，在接合部固定有伴随后述杆的上下运动而在阀室的开口部出入的阀芯；另一方面，第二隔板具有中央孔，将该第二隔板周边的厚壁部、从厚壁部向径向方向延伸的薄膜部以及设在薄膜部的边缘部上的密封部形成为一体，通过隔板压件贯通中央孔而夹持固定在位于杆的上部的该杆的台肩部上，所述杆在底部固定有第一隔板的安装部；另外，该杆，其下方部以游嵌的状态被配置在缸底部的贯通孔内，而且被以防止了向径向方向移动的状态嵌合在缸的该段差部与该杆的台肩部下表面之间的弹簧所支撑。