| 发明名称 | 化学机械研磨用水系分散体以及化学机械研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明的化学机械研磨用水系分散体包含(A)在主干聚合物部具有阴离子性官能团的接枝聚合物和(B)磨粒。 | ||
| 申请公布号 | CN101946309A | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN200880126610.9 | 申请日期 | 2008.12.18 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 元成正之;国谷英一郎;植野富和;饭岛孝浩;松田隆志 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 一种化学机械研磨用水系分散体，其包含(A)在主干聚合物部具有阴离子性官能团的接枝聚合物和(B)磨粒。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||