高温微波硅材料熔炼炉

摘要

本发明公开了一种高温微波硅材料熔炼炉，包括炉壁，坩埚，环状热源托架与所述炉壁的内表面固定连接，热源设置在所述环状热源托架上，所述热源由磁控管和保温层组成，所述磁控管贯穿固定设置在所述保温层上。本发明高温微波硅材料熔炼炉以微波源代替了传统的中频感应加热源，使能耗降低；生产时间缩短；生产成本大大降低。另外，本发明还具有：加热速度快；加热均匀；易于控制的优点。

主权项

高温微波硅材料熔炼炉，包括炉壁，坩埚，环状热源托架与所述炉壁的内表面固定连接，热源设置在所述环状热源托架上，其特征是所述热源由磁控管和保温层组成，所述磁控管贯穿固定设置在所述保温层上。