INSTALLATION FOR THE VACUUM TREATMENT NOTABLY OF SUBSTRATES

摘要

Cette installation est remarquable en ce qu'elle est composée de plusieurs modules indépendants et alignés (M) comprenant chacun une chambre de traitement sous vide (C) et une chambre de transfert (B) avec moyens de transfert d'un substrat, dans une des différents chambres ou d'une chambre à une autre située en aval ou en amont, directement à côté ou séparée d'au moins un module, de sorte que pendant qu'un substrat est dans une chambre pour un traitement spécifique, un autre substrat peut être transféré dans une autre chambre pour subir un autre traitement.