| 主权项 |
一种被建构以接收入射波前之空间光调变器，其包含：一具有一表面之连续固态及实质上坚硬的基底；及多数个独立致动器，其系形成于该基底之该表面上且横向地彼此分离而藉此形成二维阵列，每一该独立致动器具有一形成于一致动器元件区段上之镜，该致动器元件区段包含一由一对电极所夹制之致动器元件，其中针对每一该独立致动器，该镜被形成以致当该电极对被致能时该独立致动器系相对于该基底之该表面而移动该镜，而使得该入射波前被调变以产生一输出波前，及每一对电极中之一电极被形成于该独立致动器与该基底之间并包含多数隔离的电极部分。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器被建构以于两方向移动该镜来调变入射波前。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器被建构以于四方向移动该镜来调变入射波前。光调变器独立如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该多数隔离的电极部分被建构以容许该独立致动器倾斜该镜以调变该入射波前。如申请专利范围第1项之空间光调变器，进一步包含：一连接该独立致动器之耦合装置。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器之相邻者具有不同的高度。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器移动该镜约光的四分之一波长于各方向以调变该入射波前。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器被建构以致该镜形成一整体的弯曲形状。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该镜被置于针对一由该基底之该表面所形成的平面之不同高度上的预设位置中，以致其不同的输出波前图案系由从该处所反射之入射波前所产生。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该对电极造成该独立致动器之材料以一活塞式动作扩张及收缩而沿着该独立致动器之一纵轴移动该镜，其中于该活塞式动作期间，该镜之一反射表面保持平行于一通过该基底之该表面所形成之平面以调变该入射波前。如申请专利范围第10项之空间光调变器，其中该材料包含铅锆酸盐钛酸盐(PZT)、氧化锌(ZnO)、或聚偏二氟乙烯(PVDF)聚合物膜之一。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该镜系通过彼此间的致动以调变入射波前之个别部分，其造成一输出波前中的至少相位偏移或干扰图案之一。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该独立致动器被彼此连接，以致其每一该独立致动器之移动系相对于彼此地受控制以形成该镜之一整体所欲的反射架构来调变该入射波前。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该基底之该表面提供针对每一该镜之一反射表面的一共同参考平面，以致其该镜之该反射表面系相对于彼此地被致动以调变该入射波前。如申请专利范围第1项之空间光调变器，进一步包含：一耦合至该基底之绝缘层，其消散由该对电极所产生之热。如申请专利范围第1项之空间光调变器，其中该对电极被加能以造成该独立致动器之材料扩张及收缩而移动该镜以相对于每一该独立致动器之一纵轴的多数方向，其中该移动造成该镜之一反射表面变为非平行于一平行于该基底之该表面的平面以调变该入射波前。一种形成一接收入射波前并调变该入射波前之空间光调变器的方法，其包含：形成多数独立致动器，其包含一连续固态且实质上坚硬的基底之表面上的致动器元件区段，该多数独立致动器被横向地彼此分离而藉此形成二维阵列，于每一个别的该致动器元件区段中形成电极在每一个别致动器元件之相反端上成为电极对；及于该独立致动器与该基底之间形成该等电极对之每一者中之一电极并包含多数隔离的电极部分；其中，针对每一该独立致动器，该镜被形成以致当该电极对被加能时该独立致动器系相对于该基底之该表面而移动该镜，而使得该入射波前被调变以产生一输出波前。一种方法，其包含：于二维阵列之镜上接收一入射波前；及通过一连续固态而实质上坚硬的基底之表面上所形成且横向地彼此分离之多数独立致动器的相应者之相应致动器元件区段中的相应致动器元件之相反端上所形成的电极对之加能以移动个别的镜，藉此形成该独立致动器之二维阵列，每一该致动器元件区段被耦合至一相应的该镜，其中该等电极对之每一者中之一电极被形成于该独立致动器与该基底之间并包含多数隔离的电极部分，及当选定的该电极对被加能时个别的该独立致动器系相对于该基底之该表面而移动个别的该镜，而使得该入射波前被调变以产生一输出波前。 |
