蒸镀膜的形成方法

摘要

本发明提供一种同时形成锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下，将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出，向第二辊(8)搬送，直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此，打开闸门(12a)，使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发，向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此，在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后，关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4)，使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b)，再次进行蒸镀，在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层，并且在第二能够蒸镀区域(60b)，在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。

主权项

一种蒸镀膜的形成方法，其是一种辊对辊方式的蒸镀膜的形成方法，在该蒸镀膜的形成方法中，在腔室内将片状的基板以能够搬送的方式卷绕于第一辊和第二辊，并且使蒸镀原料从蒸发源蒸发，从而在所述基板上形成蒸镀膜，该蒸镀膜的形成方法的特征在于，包括：利用在所述基板的搬送路径中的所述第一辊和所述第二辊之间、且在蒸发的蒸镀原料到达的能够蒸镀区域内设置的第一导向部件，保持所述基板，使得所述基板的作为由所述蒸发的蒸镀原料照射的面的第一表面相对于所述蒸发源凸出，形成如下两个区域的工序a，在所述基板的搬送路径中与所述第一导向部件相比位于所述第一辊侧的第一能够蒸镀区域、和与所述第一能够蒸镀区域不连续且与所述第一导向部件相比位于所述第二辊侧的第二能够蒸镀区域；通过加热所述蒸发源，使所述蒸镀原料蒸发的工序b；通过开放设置于所述蒸发源和所述基板之间的闸门部件，在所述第一能够蒸镀区域中，在位于所述第一表面上的第一成膜区域形成第一蒸镀膜的工序c；在所述工序c之后，关闭所述闸门部件，在将所述基板加以遮蔽以与所述蒸发的蒸镀原料隔离的状态下，所述第一辊送出所述基板，所述第二辊卷取所述基板，由此搬送所述基板使所述第一成膜区域位于所述第二能够蒸镀区域的工序d；和在所述工序d之后，通过开放所述闸门部件，在所述第一能够蒸镀区域中，在位于所述第一表面上、与所述第一成膜区域不连续的第二成膜区域中，形成第一蒸镀膜，同时在所述第二能够蒸镀区域中，在通过所述工序c形成于所述第一成膜区域的所述第一蒸镀膜之上，形成与所述第一蒸镀膜成长方向不同的第二蒸镀膜的工序e。