| 发明名称 | 等离子体掺杂装置 | ||
| 摘要 | 为了实现稳定的低浓度掺杂的等离子体掺杂装置，具备真空容器、用于将气体输入上述真空容器内的供气装置、用于从上述真空容器内排出气体的排气装置、用于将上述真空容器内的压力控制在规定压力的调压阀、用于在上述真空容器内放置试样的试样电极、等离子体发生装置、装有作为2个可变阻抗器件的环形磁芯的等离子体发生装置用匹配电路、以及通过上述等离子体发生装置用匹配电路将高频功率供给上述等离子体发生装置的高频电源。 | ||
| 申请公布号 | CN101276748B | 申请公布日期 | 2010.12.29 |
| 申请号 | CN200710127005.0 | 申请日期 | 2003.09.30 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 奥村智洋;中山一郎;水野文二;佐佐木雄一朗 |
| 分类号 | H01L21/223(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/223(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 等离子体掺杂装置，其特征在于，具备真空容器、用于将气体输入上述真空容器内的供气装置、用于从上述真空容器内排出气体的排气装置、用于将上述真空容器内的压力控制在规定压力的调压阀、用于在上述真空容器内放置试样的试样电极、等离子体发生装置、装有作为2个可变阻抗器件的环形磁芯的等离子体发生装置用匹配电路、以及通过上述等离子体发生装置用匹配电路将高频功率供给上述等离子体发生装置的高频电源。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府门真市 | ||