测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置

摘要

本发明提供一种测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置，可消除因测定夹具的端口间的泄漏信号分量造成的修正误差，以提高修正精度。对于具有互异电学特性的修正数据获取试样，根据安装于基准测定夹具(20)的状态与安装于测试测定夹具(30)的状态下测定电学特性SD、ST的结果，来决定使在测试测定夹具安装状态下的测定值与在基准测定夹具安装状态下的测定值相关联的数学式CAij。数学式CAij是假设基准测定夹具与测试测定夹具中至少一者的至少2个端口间存在有直接传递的泄漏信号的数学式。对于任意电子元器件，在安装于测试测定夹具(30)的状态下测定电学特性，并使用已决定的数学式CAij，来算出所述电子元器件在安装于基准测定夹具(20)的状态下测定时应可得到的电学特性。

主权项

一种测定误差的修正方法，对于具有2端口以上的任意n端口的电子元器件，根据在安装于测试测定夹具的状态下测定电学特性的结果，算出该电子元器件在安装于基准测定夹具的状态下测定时应可得到的电学特性的推测值，其特征在于，具有：第1步骤，对于具有互异电学特性的至少3个第1修正数据获取试样，在安装于所述基准测定夹具的状态下测定电学特性；第2步骤，对于所述至少3个第1修正数据获取试样、可视为具有与所述至少3个第1修正数据获取试样同等的电学特性的至少3个第2修正数据获取试样、或可视为具有与所述至少3个第1修正数据获取试样中的一部分同等的电学特性的至少1个第3修正数据获取试样及其它所述第1修正数据获取试样，在安装于所述测试测定夹具的状态下测定电学特性；第3步骤，根据在所述第1及第2步骤中测定的结果决定数学式，所述数学式假设在所述基准测定夹具与所述测试测定夹具中的至少一者的至少2个端口间，存在有不传递至与该2个端口连接的电子元器件、而在该2个端口间直接传递的泄漏信号，且对于同一电子元器件，使在安装于所述测试测定夹具的状态下测定的电学特性的测定值、与在安装于所述基准测定夹具的状态下测定的电学特性的测定值相关联；第4步骤，对于任意电子元器件，在安装于所述测试测定夹具的状态下测定电学特性；以及第5步骤，根据在所述第4步骤中测定的结果，并使用在所述第3步骤中决定的所述数学式，算出该电子元器件在安装于所述基准测定夹具的状态下测定时应可得到的电学特性。