利用光学偏振特性的三维显微共焦测量系统与方法

摘要

本发明提供一种利用光学偏振特性的三维显微共焦测量系统与方法，其是通过光栅片产生具有图案的结构光，再配合偏振片元件与结构光漂移步骤结合聚焦形貌测量原理，以提取关于一物体对应不同深度的一系列光学图像。接着利用取得每一光学图像中所具有的多个像素所分别具有的聚焦指标值，以形成对应每一像素所具有的聚焦反应曲线。最后求得每一像素的聚焦反应曲线峰值并根据每一峰值所对应的深度予以重组，以得到关于该物体的形貌特征。

主权项

一种利用光学偏振特性的三维显微共焦测量方法，其特征在于，包括下列步骤：提供通过一具有图案的线性偏振结构光；将该具有图案的线性偏振结构光投射至一物体上以形成具有多个聚焦信息的结构光；对该物体进行一垂直扫描；于该垂直扫描过程中，以一具有线性偏振调整的图像提取模块提取该具有多个聚焦信息的结构光，以形成一系列光学图像；以及分析该系列光学图像，以重建该物体的表面形貌。