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发明名称 unit for cleaning glass substrate and system for cleaning glass substrate having the same
摘要
申请公布号 KR101004439(B1) 申请公布日期 2010.12.28
申请号 KR20090010311 申请日期 2009.02.09
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;B08B3/00;H01L21/302 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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