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发明名称 WAFER DEFECT DETECTION SYSTEM WITH TRAVELING LENS MULTI-BEAM SCANNER
摘要
申请公布号 KR20100134715(A) 申请公布日期 2010.12.23
申请号 KR20107024440 申请日期 2003.03.14
申请人 APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. 发明人 FELDMAN HAIM;ELYASAF EMANUEL;ELMALIACH NISSIM;NAFTALI RON;GOLDBERG BORIS;REINHORN SILVIU
分类号 G01B11/30;H01L21/66;G01B11/25;G01N21/00;G01N21/89;G01N21/95;G01N21/956 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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