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发明名称 Canister for a semiconductor manufacturing process
摘要
申请公布号 KR101003304(B1) 申请公布日期 2010.12.22
申请号 KR20080093263 申请日期 2008.09.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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