发明名称 一种扫描电镜样品台及扫描电镜
摘要 本发明公开了一种扫描电镜样品台及扫描电镜,所述的扫描电镜样品台包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台,所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔,插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。本发明中所述的扫描电镜中使用的扫描电镜样品台包括有外筒及设置在外筒内的插孔台,由于具有一定高度的外筒及插孔台上插孔的设置,使微型刀具可以直接竖直地插放在插孔内进行扫描电镜的检测,不仅操作更为方便,而且还可以在不破坏微型刀具的情况下观察微型刀具的磨损、崩口等情况,非常适合检测微型刀具,检测效果较好。
申请公布号 CN101916706A 申请公布日期 2010.12.15
申请号 CN201010243949.6 申请日期 2010.08.03
申请人 深圳市金洲精工科技股份有限公司 发明人 刘燚
分类号 H01J37/20(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I 主分类号 H01J37/20(2006.01)I
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 代理人 何凌
主权项 一种扫描电镜样品台,其特征在于,包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台,所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔,所述的插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。
地址 518116 广东省深圳市龙岗区龙城北路高科技产业园