发明名称 Optisches Element
摘要 Ein als Vorderflächen-Spiegel oder als Linse (3) ausgeführtes optisches Element (3), bei dem das optische Element (3) zumindest einen Teilbereich (5) aus einem Material aufweist, welches die Eigenschaft besitzt, dass das Material bei Bestrahlung mit geeignetem Anregungslicht (11) gekühlt wird.
申请公布号 DE102009029776(B3) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 DE200910029776 申请日期 2009.06.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 BAER, NORMAN
分类号 G02B1/02;G02B3/00;G02B5/08;G02B7/00;G03F7/20 主分类号 G02B1/02
代理机构 代理人
主权项
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