Akustischer Oberflächenwellendrucksensor

摘要

Ein Sensorchip (3) weist ein Substrat (6) und eine Elektrode (7) auf, die auf dem Substrat angeordnet ist. Der Sensorchip ist an einer Membranstruktur (2) befestigt, welche durch aufgenommenen Druck ausgelenkt wird und wird mit der Membranstruktur nur über einen bestimmten Befestigungsbereich (9, 10) befestigt, um den Druck zu erkennen. Der Sensorchip wird von der Membranstruktur in Richtung der Übertragung einer akustischen Oberflächenwelle (SAW) begrenzt. Die Flexibilität des Sensorchips in einer Senkrechtenrichtung annähernd senkrecht zur Übertragungsrichtung ist größer als diejenige in Übertragungsrichtung.