| 主权项 |
一种晶片保持机构，该晶片是磨削晶片的背面中与器件区域对应的区域，将器件区域的厚度形成在50μm以下，同时保留晶片的背面中的外周部而形成有环状的加强部的晶片，其特征在于，具有：保持晶片外周缘的至少3个保持部件；具有沿放射方向引导该至少3个保持部件的引导部、可以沿该引导部移动地支持上述保持部件的支持板；以及使该至少3个保持部件沿该引导部移动的移动机构；上述支持板的上述引导部由沿放射方向长的长孔构成；上述保持部件包括具有与晶片的外周缘卡合的卡合凹部的保持部和从该保持部的上表面立设地设置、嵌插到上述支持板上设置的长孔中的被引导支持部；并且，上述保持部件具有与该卡合凹部连续地形成在上侧、将晶片的外周缘引导到卡合凹部的圆锥面；在上述支持板上设置有多个比上述保持部件的保持部更向下方突出的间隔形成销；上述移动机构具有：各自的一端可以转动地与上述至少3个保持部件相连接的至少3个连接件；可以转动地与上述3个连接件的另一端相连接、可以转动地配设在上述支持板的中心部的转动板；以及使该转动板转动的驱动机构；该晶片保持机构用弹性支持机构支持在动作臂的顶端，弹性支持机构具有立设在上述支持板的上表面上的至少3根支持柱、供这3根支持柱分别嵌入的3根螺旋弹簧、以及安装到上述动作臂的顶端上的安装板；上述3根支持柱配置在分别穿插上述转动板上设置的3个开口的位置上。 |
