线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用

摘要

所公开的是一给腹板或箔充电的方法。该方法包含由至少一滚轮引导具有10μm或更大厚度的一腹板或箔；设置一线性电子源(100)，其具有一外壳(112)，该外壳用作一阳极，该外壳具有：侧壁(312)；一狭缝开口(114)，其位于该外壳中用于一线性电子束穿透，该狭缝开口界定该源的一长度方向；一阴极，其安排在该外壳内，并具有一第一侧(413)，其面对该狭缝开口；至少一气体供应器(70)，其用于提供一气体至该外壳中；及一电源供应器，其用于在该阳极和该阴极间提供一高电压；及发射该线性电子束，其中调整该高电压以用于提供一电子能量以在该腹板或箔内部注入该电子束的电子。

主权项

一种给一腹板或箔充电的方法，包含下列步骤：由至少一滚轮引导一腹板或箔，该腹板或箔具有10μm或更大的厚度；设置一线性电子源(100、1700)，其具有：一外壳(112、212、1012)，该外壳用作一阳极，该外壳具有侧壁(312)；一狭缝开口(114、1214、1714、2114)，其位于该外壳中用于一线性电子束穿透，该狭缝开口界定该源的一长度方向；一阴极，其安排在该外壳内部，并具有一第一侧(413)，其面对该狭缝开口；至少一气体供应器(130、630、72、73、70)，其用于提供一气体至该外壳中；以及一电源供应器(80)，其用于提供该阳极和该阴极间的一高电压；发射该线性电子束，其中该高电压调整用于提供一电子能量，以在该腹板或箔内部注入该电子束的电子。