用于双层导电膜面板曲线工艺的镭射装置

摘要

一种用于双层导电膜面板曲线工艺的镭射装置，用以加工包含第一导电膜、第二导电膜与基板的面板，使第一导电膜形成曲线而不影响第二导电膜，镭射装置包含镭射模块、Y轴运动平台、X轴运动平台与线性马达。面板平行XY平面摆放于X轴运动平台上，镭射模块产生可调波长范围的激光束，用以沿X轴方向加工第一导电膜。Y轴运动平台承载镭射模块，用以沿Y轴方向移动镭射模块，X轴运动平台沿X轴方向移动面板。线性马达连接于镭射模块与Y轴运动平台间，用以沿正交于X轴方向与Y轴方向的Z轴方向调整镭射模块的位置。本实用新型能够提供低污染、有效率的双层导电膜曲线电路工艺。

主权项

一种用于双层导电膜面板曲线工艺的镭射装置，用以加工一面板，该面板包含一第一导电膜、一第二导电膜及介于该第一导电膜与该第二导电膜间的一基板，该第一导电膜位于该镭射装置与该基板之间，其特征在于，该镭射装置包含：一镭射模块，包含：一镭射光源，用以产生可调波长范围的一第一激光束；一监控单元，用以接收并校正该第一激光束后输出一第二激光束；及一光束运动单元，接收并偏移该第二激光束，用以输出一第三激光束，使该第三激光束沿平行于该第一导电膜表面的一X轴方向加工该第一导电膜；一Y轴运动平台，承载该镭射模块，用以沿正交于该X轴方向并平行于该第一导电膜表面的一Y轴方向移动该镭射模块，使该第三激光束沿该X轴方向加工该第一导电膜同时向该Y轴方向运动，以等离子体蚀刻方式加工该第一导电膜形成曲线；一X轴运动平台，承载该面板，用以于该第一导电膜形成曲线后沿该X轴方向移动该面板；及一线性马达，连接于该镭射模块与该Y轴运动平台间，用以沿正交于该X轴方向与该Y轴方向的一Z轴方向调整该镭射模块的位置。