旋转头、用于处理基片的设备以及用于处理基片的方法

摘要

提供一种支承基片并使基片转动的旋转头。旋转头包括：主体；卡盘销，这些卡盘销安装在主体上并在支承基片的支承位置与为装卸基片提供空间的等待位置之间运动；以及使卡盘销运动的卡盘销运动单元。卡盘销运动单元包括：与每一卡盘销相结合的转动杆，将转动杆固定至主体的枢轴销；以及驱动件，其使转动杆绕作为转动轴的枢轴销转动以使卡盘销从支承位置向等待位置运动。在主体转动时，转动杆利用反向离心力从等待位置向支承位置对卡盘销施加力。卡盘销包括在加工期间交替卡紧基片的第一销和第二销。

主权项

一种旋转头，其包括：主体；从所述主体向上突出的卡盘销；以及卡盘销运动单元，其结构能够使所述卡盘销在支承位置与等待位置之间运动，以便使得基片位于所述主体上，其中，位于所述旋转头上的基片的侧部在所述支承位置处支承，所述等待位置比所述支承位置离所述主体的中心更远，其中，所述卡盘销运动单元包括：与每一所述卡盘销相连的转动杆；将所述转动杆固定至所述主体的枢轴销；以及驱动件，其使所述转动杆围绕作为转动轴的所述枢轴销转动。