工件翻转单元、真空成膜装置及工件装配单元

摘要

本发明提供一种工件翻转单元、真空成膜装置及工件装配单元，工件翻转单元将真空成膜装置的腔内保持成真空可直接在工件的表里两面交替反复地成膜。真空成膜装置以保持腔内的真空状态可连续地直接在工件的表里实施成膜。在形成于配置在真空成膜装置的腔内的拱顶的倾斜面的多个工件装配部(18)装配工件装配单元(20)。工件装配单元(20)包括由一对旋转轴旋转自如地支承固定有玻璃板(21)的工件夹具(22)的夹具支承框(25)、具有卡止夹具支承框(25)的旋转的卡止构件(60)的滚珠引导框(50)。在滚珠引导框(50)载置有钢珠(58)，并保持在通过肋(56)所载置的位置。若加快拱顶的旋转速度，则钢珠(58)通过离心力越过肋(56)而与卡止构件(60)的滚珠碰撞部(62)碰撞，此时，卡止爪(63)从工件夹具(22)的卡止位置移动而工件夹具(22)进行翻转。

主权项

一种工件翻转单元，其特征在于，具有：工件夹具，其装卸自如地保持工件，该工件在表里设有使从成膜物质发生源飞散的成膜物质堆积的被成膜面；支承框，其固定于在真空腔内旋转的工件保持盘，并且在一所述被成膜面朝向成膜物质发生源的初始位置和另一被成膜面朝向成膜物质发生源的翻转位置旋转自如地支承所述工件夹具；翻转机构，其具有平衡重，并通过所述平衡重的移动将所述工件夹具在所述初始位置和所述翻转位置之间进行切换，所述平衡重被移动自动地支承在与所述工件保持盘的旋转方向平行的方向上，且在伴随所述工件保持盘的加速或减速的惯性的作用下而移动。