一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置

摘要

本实用新型涉及一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置。本实用新型要克服现有技术中不能反映整个膜层的厚度分布情况和使用要求高的问题。提供一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置，包括光源系统，干涉系统、CCD图像捕获系统和样品移动控制系统，干涉系统包括消模器、扩束器、准直镜、成像物镜、分光镜、补偿镜、参考反射镜、PZT调节器、PZT驱动和可控样品台，CCD图像捕获系统包括CCD摄像机、图像捕获器和计算机；光源系统、消模器和扩束器依次设置在第一光轴上，CCD摄像机、成像物镜、第二分光镜、补偿镜、参考反射镜和PZT调节器依次设置在与第一光轴平行的第二光轴上，反射镜、第二分光镜和样品台还依次位于垂直于第一光轴的第三光轴上。其测试灵敏度高，精度高。

主权项

一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置，其特征在于：包括光源系统(1)、干涉系统、CCD图像捕获系统和样品移动控制系统，所述的干涉系统包括消模器(2)、扩束器(3)、准直镜(5)、成像物镜(15)、分光镜(6)、补偿镜(7)、参考反射镜(8)、PZT调节器(9)、PZT驱动(10)和可控样品台(11)，所述CCD图像捕获系统包括CCD摄像机(12)、图像捕获器(13)和计算机(14)；所述的光源系统(1)、消模器(2)和扩束器(3)依次设置在第一光轴上，所述CCD摄像机(12)、成像物镜(15)、第二分光镜(6)、补偿镜(7)、参考反射镜(8)和PZT调节器(9)依次设置在与第一光轴平行的第二光轴上，同时反射镜(4)、第二分光镜(6)和样品台(11)还依次位于垂直于第一光轴的第三光轴上；所述CCD摄像机(12)还依次与图像捕获器(13)、计算机(14)、可控样品台(11)、PZT驱动(10)和PZT调节器(9)相连接。