一种碳纳米管-电极结构及基于该结构的温度传感器芯片

摘要

本实用新型公开一种碳纳米管-电极结构及基于该结构的温度传感器芯片，包括基底、碳纳米管、电极，所述电极成对设置在基底上，所述碳纳米管与所述的一对电极间电连接。碳纳米管具有良好的导热性，并且金属性碳纳米管的电阻率会随温度的变化而发生改变。利用碳纳米管电阻率随温度变化的性质，本专利提出了一种能够利用碳纳米管-电极作为温度传感单元的具有低能耗、高灵敏度的传感器芯片结构，该传感器芯片在2mm×2mm的区域内集成了8个独立温度传感单元。所述温度传感器芯片结构，可以利用介电泳技术实现碳纳米管在微电极阵列上的装配，形成碳纳米管-金属电极的温度传感单元，并最终形成碳纳米管温度传感器。

主权项

1.一种碳纳米管-电极结构，其特征在于：包括基底、碳纳米管、电极，所述电极成对设置在基底上，所述碳纳米管与所述的一对电极间电连接。