| 发明名称 | 用于PECVD工序与丝网印刷工序间的装卸片运载车 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于PECVD工序与丝网印刷工序间的装卸片运载车，包括框架，所述框架上设有石墨舟承载平台，所述框架的顶部上设有托盘固定架，所述托盘固定架上设有与丝网印刷承载盒的底部相匹配用于固定所述丝网印刷承载盒的托盘。使用本实用新型的装卸片运载车，可以稳定固定丝网印刷承载盒，操作人员可以很方便地将经过PECVD工序的石墨舟中的硅片取出并直接插入到丝网印刷承载盒中，将PECVD卸片工序和丝网印刷插片工序整合成一道工序，减少了人工参与，降低了硅片碎片风险。 | ||
| 申请公布号 | CN201655773U | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN201020149106.5 | 申请日期 | 2010.03.17 |
| 申请人 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 发明人 | 张光春;葛剑;陶俊;虞晓清 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;廉振保 |
| 主权项 | 一种用于PECVD工序与丝网印刷工序间的装卸片运载车，包括框架，所述框架上设有石墨舟承载平台，其特征在于，所述框架的顶部上设有托盘固定架，所述托盘固定架上设有与丝网印刷承载盒的底部相匹配用于固定所述丝网印刷承载盒的托盘。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 | ||