| 发明名称 | 玻璃硬盘基板的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种玻璃基板用研磨液组合物，其含有一次粒子的平均粒径为1～100nm的氧化硅、具有磺酸基的聚合物和水；并提供使用该玻璃基板用研磨液组合物的玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的表面污染的减少方法。本发明的玻璃基板用研磨液组合物，例如适用于玻璃硬盘、强化玻璃基板用铝硅酸盐玻璃、玻璃陶瓷基板(晶化玻璃基板)等的制造。 | ||
| 申请公布号 | CN101892032A | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN201010226178.X | 申请日期 | 2005.12.09 |
| 申请人 | 花王株式会社 | 发明人 | 西本和彦 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈建全 |
| 主权项 | 一种玻璃硬盘基板的制造方法，其具有下述的工序：使研磨液组合物存在于研磨垫和玻璃基板之间，并以3～12kPa的研磨载荷进行研磨；其中，所述研磨液组合物含有一次粒子的平均粒径为5～40nm的胶体氧化硅、重均分子量为1000～4500的丙烯酸/(甲基)丙烯酰胺‑2‑甲基丙烷磺酸共聚物和水。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||