发明名称 挥发性金属β-酮基亚胺盐错合物
摘要
申请公布号 TWI332504 申请公布日期 2010.11.01
申请号 TW094146813 申请日期 2005.12.27
申请人 气体产品及化学品股份公司 发明人 约翰 安东尼 汤马士 诺门
分类号 C07F1/08 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人 陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2
主权项 一种式(I)表示的错合物,@sIMGTIF!d10001.TIF@eIMG!其中,M为Cu;其中R1、R2、R3和R4彼此独立地为氢原子;具有CnH2n+1通式的烷基,其中n为1至20的数;具有(R5)3Si通式的烷基矽烷,其中R5彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺;含有6至18个碳原子的芳基;含有6至18个碳原子的烷基取代的芳基;含有1至20个碳原子的醯胺基团;和硝基NO2,其中选择性的取代基R1和R2,R2和R3,和R3和R4中的至少之一相连接形成环结构;其中L为配位基,选自一氧化碳;含有2至20个碳原子的烷基腈;具有(R6)3SiCN通式的甲矽烷基腈,其中R6彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的炔;具有(R7)3SiCCR8通式的甲矽烷基炔,其中R7彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺,且R8彼此独立地为氢原子,含有1至20个碳原子的烷基或烷氧基;具有(R9)3SiCCSi(R9)3通式的双(甲矽烷基)炔,其中R9彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺;含有1至20个碳原子的烯烃;含有1至20个碳原子的二烯;含有1至20个碳原子的三烯;具有(R10)3SiC(R17)C(R17)2通式的甲矽烷基烯,其中R10彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;具有(R11)3SiCR17CR17Si(R11)3通式的双(甲矽烷基)烯,其中R11各自独立地为含有1至20个碳原子的烷基、烷氧基或含有1至20个碳原子的醯胺,且R17各自独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;含有3至20个碳原子的丙二烯;具有(R12)2CCC(R12)2通式的丙二烯,其中,R12彼此独立地为氢原子、烷基、烷基矽烷,烷氧基矽烷或具有通式(R13)3Si的醯胺基矽烷,其中R13彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基;含有1至20个碳原子的烷基胩;具有(R14)3SiNC通式的甲矽烷基胩,其中R14彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的烯丙基;具有(R15)3SiC(R17)2R17CC(R17)2通式的烯丙基矽烷,其中R15为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和具有(R16)3SiC(R17)2CR17CR17Si(R16)3通式的双(甲矽烷基)烯丙基,其中R16含有1至20个碳原子,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键。如申请专利范围第1项所述的错合物,其中取代基R1和R2,R2和R3,和R3和R4中的至少之一相连接形成环结构。如申请专利范围第2项所述的错合物,其中取代基R3和R4相连接形成环结构。如申请专利范围第2项所述的错合物,其中取代基R1和R2相连接形成环结构。一种在基材上沉积含金属膜的方法,该方法包括:将具有式(I)的金属错合物与基材接触,其中所述接触在足以使错合物能够反应并形成膜的条件下进行,@sIMGTIF!d10002.TIF@eIMG!其中,M为Cu;其中R1、R2、R3和R4彼此独立地为氢原子;具有CnH2n+1通式的烷基,其中n为1至20的数;具有(R5)3Si通式的烷基矽烷,其中R5彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺;含有6至18个碳原子的芳基;含有6至18个碳原子的烷基取代的芳基;含有1至20个碳原子的醯胺基团;和硝基NO2,其中选择性的取代基R1和R2,R2和R3,和R3和R4中的至少之一相连接形成环结构;其中L为配位基,选自一氧化碳;含有2至20个碳原子的烷基腈;具有(R6)3SiCN通式的甲矽烷基腈,其中R6彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的炔;具有(R7)3SiCCR8通式的甲矽烷基炔,其中R7彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺,且R8彼此独立地为氢原子、含有1至20个碳原子的烷基或烷氧基;具有(R9)3SiCCSi(R9)3通式的双(甲矽烷基)炔,其中R9彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺或;含有1至20个碳原子的烯烃;含有1至20个碳原子的二烯;含有1至20个碳原子的三烯;具有(R10)3SiC(R17)C(R17)2通式的甲矽烷基烯,其中R10彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;具有(R11)3SiCR17CR17Si(R11)3通式的双(甲矽烷基)烯,其中R11彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基、烷氧基或含有1至20个碳原子的醯胺,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;含有3至20个碳原子的丙二烯;具有(R12)2CCC(R12)2通式的丙二烯,其中,R12各自独立地为氢原子、烷基、烷基矽烷、烷氧基矽烷或具有(R13)3Si通式的醯胺基矽烷,其中R13彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基;含有1至20个碳原子的烷基胩;具有(R14)3SiNC通式的甲矽烷基胩,其中R14彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的烯丙基;具有(R15)3SiC(R17)2R17CC(R17)2通式的烯丙基矽烷,其中R15为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和具有(R16)3SiC(R17)2CR17CR17Si(R16)3通式的双(甲矽烷基)烯丙基,其中R16含有1至20个碳原子,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键。一种含有含金属膜的电子器件,其中所述膜是由含有至少一个具有式(I)的错合物的前驱物混合物沉积得到的:@sIMGTIF!d10003.TIF@eIMG!其中,M为Cu;其中R1、R2、R3和R4彼此独立地为氢原子;具有CnH2n+1通式的烷基,其中n为1至20的数;具有(R5)3Si通式的烷基矽烷,其中R5彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺;含有6至18个碳原子的芳基;含有6至18个碳原子的烷基取代的芳基;含有1至20个碳原子的烷氧基;含有1至20个碳原子的醯胺基团;和硝基NO2,其中选择性的取代基R1和R2,R2和R3,和R3和R4中的至少之一相连接形成环结构;其中L为配位基,选自一氧化碳;含有2至20个碳原子的烷基腈;具有(R6)3SiCN通式的甲矽烷基腈,其中R6彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的炔;具有(R7)3SiCCR8通式的甲矽烷基炔,其中R7彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺,且R8彼此独立地为氢原子、含有1至20个碳原子的烷基或烷氧基;具有(R9)3SiCCSi(R9)3通式的双(甲矽烷基)炔,其中R9彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺;含有1至20个碳原子的烯烃;含有1至20个碳原子的二烯;含有1至20个碳原子的三烯;具有(R10)3SiC(R17)C(R17)2通式的甲矽烷基烯,其中R10彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;具有(R11)3SiCR17CR17Si(R11)3通式的双(甲矽烷基)烯,其中R11彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基、烷氧基或含有1至20个碳原子的醯胺,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;含有3至20个碳原子的丙二烯;具有(R12)2CCC(R12)2通式的丙二烯,其中,R12彼此独立地为氢原子、烷基、烷基矽烷、烷氧基矽烷或具有(R13)3Si通式的醯胺基矽烷,其中R13彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基;含有1至20个碳原子的烷基胩;具有(R14)3SiNC通式的甲矽烷基胩,其中R14彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的烯丙基;具有(R15)3SiC(R17)2R17CC(R17)2通式的烯丙基矽烷,其中R15为含有1至20个碳原子的醯胺、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和具有(R16)3SiC(R17)2CR17CR17Si(R16)3通式的双(甲矽烷基)烯丙基,其中R16含有1至20个碳原子,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键。一种制备具有式(I)的金属错合物的方法,@sIMGTIF!d10004.TIF@eIMG!其中,M为Cu;R1、R2、R3和R4彼此独立地为氢;具有CnH2n+1结构的烷基,其中n为1至20的数;具有(R5)3Si通式的烷基矽烷,其中R5彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺基;含有6至18个碳原子的芳基;含有6至18个碳原子的烷基取代的芳基;含有1至20个碳原子的醯胺基;硝基NO2,其中选择性的取代基R1和R2,R2和R3,和R3和R4中的至少之一相连接形成环结构;其中L为配位基,选自一氧化碳;含有2至20个碳原子的烷基腈;具有(R6)3SiCN通式的甲矽烷基腈,其中R6彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的炔;具有(R7)3SiCCR8通式的甲矽烷基炔,其中R7彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺基,且R8彼此独立地为氢、含有1至20个碳原子的烷基或烷氧基;具有(R9)3SiCCSi(R9)3通式的双(甲矽烷基)炔,其中R9彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或醯胺基;含有1至20个碳原子的烯烃;含有1至20个碳原子的二烯;含有1至20个碳原子的三烯;具有(R10)3SiC(R17)C(R17)2通式的甲矽烷基炔,其中R10彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺基、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;具有(R11)3SiCR17CR17Si(R11)3通式的双(甲矽烷基)炔,其中R11彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基、烷氧基或含有1至20个碳原子的醯胺基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;含有3至20个碳原子的丙二烯;具有(R12)2CCC(R12)2通式的丙二烯,其中,R12彼此独立地为氢原子、烷基、烷基矽烷,烷氧基矽烷或具有(R13)3Si结构的醯胺基矽烷,其中R13彼此独立地为含有1至20个碳原子的醯胺基、烷基或烷氧基;含有1至20个碳原子的烷基胩;具有(R14)3SiNC通式的甲矽烷基胩,其中R14彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基;含有1至20个碳原子的烯丙基;具有(R15)3SiC(R17)2R17CC(R17)2通式的烯丙基矽烷,其中R15为含有1至20个碳原子的醯胺基、烷基或烷氧基,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;和具有(R16)3SiC(R17)2CR17CR17Si(R16)3通式的双(甲矽烷基)烯丙基,其中R16含有1至20个碳原子,且R17彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基;且其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键,该方法包括:将β-二酮化合物与第一胺反应得到β-酮基亚胺中间产物;并在金属源和配位基(L)的存在下用硷将β-酮基亚胺中间产物去质子化,生成具有式(I)的铜错合物。一种Cu(I)(MeC(O)CHC(NMe)Me)(三甲基乙烯基矽烷)的错合物,其中Me为甲基。一种式(I)表示的错合物,@sIMGTIF!d10005.TIF@eIMG!其中,M为Cu;其中R1、R3和R4彼此独立地为具有CnH2n+1通式的烷基,其中n为1至6的数;R2为氢原子;其中L为(C1-C6烷基)3乙烯基矽烷的配位基;和其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键。一种在基材上沉积含金属膜的方法,该方法包括:将具有如申请专利范围第9项所述的具有式(I)的金属错合物与基材接触,其中所述接触在足以使错合物能够反应并形成膜的条件下进行。一种含有含金属膜的电子器件,其中所述膜是由含有至少一个如申请专利范围第9项所述的具有式(I)的错合物的前驱物混合物沉积得到的。一种制备如申请专利范围第9项所述的具有式(I)金属错合物的方法,该方法包含:将β-二酮化合物与第一胺反应得到β-酮基亚胺中间产物;并在金属源和配位基(L)的存在下用硷将β-酮基亚胺中间产物去质子化,生成具有式(I)的铜错合物。
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