| 摘要 |
1. Способ нанесения покрытия на изделия методом распыления материала катода в вакууме, при котором изделия помещают в рабочую камеру, откачивают среду и перед процессом нанесения покрытия производят их предварительную поэтапную обработку газовой плазмой, отличающийся тем, что на первом этапе предварительной обработки осуществляют ионную очистку аргоном, а на втором этапе на поверхности изделия формируют мономолекулярный слой путем воздействия плазмой газа, содержащего окислитель, при этом используют катод, выполненный из металла с удельным сопротивлением не выше 16 мкОм·см. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом дугового распыления. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом магнетронного распыления. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды. ! 5. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды. ! 6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что используют катод, выполненный из серебра, или меди, или олова, или хрома, или никеля, или циркония, или тантала, или молибдена, или их сплавов. |
